【摘 要】
：
用连续CO_2激光器、钕玻璃激光器和Nd:YAG激光器对磁泡存贮器用衬底为钆镓石榴石(Gd_3Ga_5O_(12))的外延晶片进行划片;用显微镜和扫描电子显微镜观察划缝及裂纹;提出了裂纹可
论文部分内容阅读
用连续CO_2激光器、钕玻璃激光器和Nd:YAG激光器对磁泡存贮器用衬底为钆镓石榴石(Gd_3Ga_5O_(12))的外延晶片进行划片;用显微镜和扫描电子显微镜观察划缝及裂纹;提出了裂纹可按其有利或不利于划片分成两类—纵向裂纹和横向裂纹。文中分析和讨论了各种裂纹在划片过程中产生的原因、条件和结果。试验表明,采用Nd:YAG激光划片能得到划缝平整、剖面光滑的划缝。
The epitaxial wafer with gadolinium gallium garnet (Gd_3Ga_5O_ (12)) substrate for bubble memory was diced by continuous CO_2 laser, neodymium glass laser and Nd: YAG laser. The slits and cracks were observed with microscope and scanning electron microscope Proposed cracks can be divided into two categories according to their favorable or not conducive to scribe - longitudinal cracks and transverse cracks. The paper analyzes and discusses the causes, conditions and results of various cracks in the dicing process. Experiments show that, using Nd: YAG laser scribe can get a smooth suture, cross-section slick.
其他文献
本文提出了一种高抽速离子泵。这种离子泵就是把一种新型的冷阴极和普通离子泵结合起来，实验结果表明， 在压强低于１０－４ Ｐａ时，它的单位体积离子流是普通离子泵离子流的３０倍。
This paper
随着我国的经济不断的发展,当前电商与物流业的迅猛发展,都是对我国的交通运输造成相应的压力,其中公路运输的意义更是重大。公路质量低额好坏更是直接关系到经济的正常运行,
根据四机部安排,我厂于1979年研制的低功耗TTL集成电路,有J-K触发器(企业型号No.1),四输入端双与非门(No.2),二输入端四与非门(No.3),4-3-2-2输入端与或非门(No.4),八输入端
离子探针是在探针技术和质谱仪的基础上发展起来的较为新型的仪器。它可以分析所有固体且样品制备简单,检测灵敏度高(PPm—PPb 范围内),可进行薄表面层的分析、深度分析和微
俗话说:女人穿的是衣服,男人穿的是品位。不同于女人穿衣爱漂亮喜修饰重打扮,男人穿着喜好品位,表达自己内在的品质以及修养。热播剧《手机》的两位主演的穿衣风格就可见一斑
沙奎尔·奥尼尔肯定不会想到，他这把年纪加盟凯尔特人还能引来湖人球迷对他的仇视，不过，这也很好地说明了波士顿和洛杉矶之间的积怨有多深。事实上。除可奥尼尔之外，联盟历史上还有很多既穿过凯尔特人球衣又披过湖人战袍的球员。这种王朝无间道，使得这两支贯穿了NBA历史死敌间的恩怨情仇，更加富有魅力。 A 伟大的交集 谁都知道，凯尔特人和湖人是联盟中最大的死敌，他们之间的对抗史，甚至就可以称之为NB
内容简介刘继东与妹妹刘一萌在母亲的遗物中发现19年前的秘密:当邮递员的母亲挪用客户资金1500元。当年母亲捡到患有先天心脏病的弃婴,在贫困的岁月里,母亲为救助这个垂危的
随着高能量损伤(如交通事故、坠落伤等)的增多,青少年儿童股骨干粉碎性骨折也越来越常见,我们从2002年3月～2006年3月利用经皮微创钢板固定技术(minimally invasive percutaneous plate osteosynthes,MIPPO)治疗青少年儿童闭合性股骨干粉碎性骨折25例,取得满意疗效,总结如下。
半导体自从摆脱了1995年末开始的长期衰退之后,已经成为华尔街的宠儿。但即便如此,相对于快速发展的数字信号处理器来说还是显得黯然失色。数字信号处理器的增长速度已经连