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制备锆钛酸铅（PZT）悬浮液,采用电雾化沉积（EHDA）技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明：经过2C＋1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试频率下厚膜的残余极化强度Pr和相对介电常数εr分别由溶胶渗透前的7.3μC·cm^-2和186提升为溶胶渗透后的16.1μC·cm^-2和400。