钎焊金刚石线锯切割单晶硅材料时的断裂行为研究

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tftaofeng
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利用铜基钎料钎焊制备小直径金刚石线锯,观察线锯形貌,测试线锯力学性能,并在不同切割参数下对单晶硅材料进行切割,记录观察切割过程中的线锯受力,观察线锯断口形貌,探讨小直径钎焊金刚石线锯线锯过程中断裂行为及断裂机理。研究结果表明,线锯的断裂主要有正常疲劳断裂和非正常拉断。
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