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Φ3英寸GaAs0.5μm准分子激光光刻技术
Φ3英寸GaAs0.5μm准分子激光光刻技术
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaochunyang2000
【摘 要】
:
详细叙述了准分子激光的工作原理和工艺特性,介绍了准分子激光光刻实验及Φ3英寸基片均匀性补偿试验的研制结果。
【作 者】
:
刘玉贵
尚秀红
【机 构】
:
电子工业部第十三研究所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
准分子激光
光刻
砷化镓
Excimer laserPhoto lithography
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详细叙述了准分子激光的工作原理和工艺特性,介绍了准分子激光光刻实验及Φ3英寸基片均匀性补偿试验的研制结果。
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