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英国南安谱敦大学与Mesophotonics有限公司的研究人员最近制备出一种能够在可见光波长范围工作的光子晶体超棱镜。这种光子晶体超棱镜的结构是通过用电子束光刻和干蚀刻法在位于N型硅上的氮化硅波导中蚀刻160nm直径气孔制成的。光子晶体呈186μm×500μm大小的长方形列阵状,有600行气孔。