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文章对集成电路工艺计算机辅助设计系统（TCAD虚拟FAB系统）做了简要介绍，指出了TCAD在新工艺开发中的地位，提出了利用TCAD进行新工艺开发的思想。以synopsys公司的TWB虚拟FAB系统为例，对TCAD用于新工艺的开发作了探讨，并给出了以此为平台进行700V高压BCD工艺设计的实例。
用TCAD进行IC新工艺的开发
【摘 要】
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文章对集成电路工艺计算机辅助设计系统（TCAD虚拟FAB系统）做了简要介绍，指出了TCAD在新工艺开发中的地位，提出了利用TCAD进行新工艺开发的思想。以synopsys公司的TWB虚拟FAB系统
【机 构】
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上海大学微电子研究与开发中心
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2006年10S期
【基金项目】
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本项目得到了上海市教委的资助（编号20443）
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