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本文较为系统地描述了SOI技术的特点,分析了SOI技术中存在的问题和发展的潜力,最后得出了SOI技术将在特征尺寸小于0.1微米、电源电压小于1V的新一代集成电路技术中得到广泛采用。
SOI技术的机遇和挑战
【摘 要】
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本文较为系统地描述了SOI技术的特点,分析了SOI技术中存在的问题和发展的潜力,最后得出了SOI技术将在特征尺寸小于0.1微米、电源电压小于1V的新一代集成电路技术中得到广泛采
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年6期
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