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介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统，分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述，阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问题，并提出了相应的解决措施。
分步重复自动对准光刻工艺技术研究
【摘 要】
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介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统，分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述，阐述了采用这类自动对准系统的光刻机可能遇到的工艺问
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年1期
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