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在薄膜特性的研究工作中,激光引起的表面形变是一种广泛应用的技术.在这种技术中,薄膜的形变(热包高度小于0.1 nm)一般是采用光热偏转技术来探测的.介绍了一种通过光学衍射效应来研究薄膜表面形变的新技术即表面热透镜技术,它是研究薄膜特性的一种灵敏且易于控制的方法.探讨了其理论模型及在薄膜的吸收测量和缺陷特性测试方面,该方法相对于传统方法的优点和潜力.