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随着对新化学品和集成方案了解的加深，我们不但可以减轻介电层孔隙率增加引起的负担还可以降低工艺对超低k薄膜的损伤。
低k集成的曙光
【摘 要】
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随着对新化学品和集成方案了解的加深，我们不但可以减轻介电层孔隙率增加引起的负担还可以降低工艺对超低k薄膜的损伤。
【机 构】
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IMEC
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
：
2009年1期
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