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给出表面结构的定义并对其要素产生的原因及影响因素进行阐述，然后根据ISO／DIS25178．6，介绍表面结构测量方法的分类系统，定义3种分类方法：线轮廓法、区域形貌法和区域特征集成法，说明其相互关系，并对具体表面结构检测方法原理及表面结构测量方法的重要限制条件进行说明。
表面结构测量方法的分类
【摘 要】
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给出表面结构的定义并对其要素产生的原因及影响因素进行阐述，然后根据ISO／DIS25178．6，介绍表面结构测量方法的分类系统，定义3种分类方法：线轮廓法、区域形貌法和区域特征集成法，说
【机 构】
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时代集团公司
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2009年11期
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