【摘 要】
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为了提高汽车半轴耐磨性,采用射频磁控溅射仪在汽车半轴用钢（40Cr钢）表面沉积了一系列不同Si含量的W-Si-N涂层.利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、纳
【机 构】
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六安职业技术学院汽车与机电工程学院
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为了提高汽车半轴耐磨性,采用射频磁控溅射仪在汽车半轴用钢（40Cr钢）表面沉积了一系列不同Si含量的W-Si-N涂层.利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对W-Si-N涂层的结构、力学性能和高温摩擦磨损性能进行了表征.结果表明：W-Si-N涂层由面心立方的W-Si-N相和非晶Si3N4相组成,呈（200）择优生长;随Si含量增加,W-Si-N涂层的硬度先升高后降低,Si含量为13.2％时硬度达到最大值,约为37.0 GPa;室温环境下
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