超精密级弹性变形微量进给装置及其单板机...

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本文介绍一种新型超精密机械加工微量进给装置及其单板机闭环控制系统。该装置采用 T 型弹性变形位移变换器,克服了传统微量进给机构的缺点,具有0.01μm 的高分辨率、±0.01μm 重复定位精度和稳定的动态特性,操作方便。
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