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提出了一种电解电火花铣削加工半导体硅材料的方法，对单晶硅片进行电解电火花铣削加工实验。在不同电参数和不同铣削轨迹重叠率的条件下进行加工实验，分析二者对电解电火花铣削硅材料表面质量的影响。实验结果表明：脉冲能量越高，表面质量越差；工具电极运动轨迹重叠率越高，表面质量越好。
单晶硅的电解电火花铣削加工工艺研究
【摘 要】
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提出了一种电解电火花铣削加工半导体硅材料的方法，对单晶硅片进行电解电火花铣削加工实验。在不同电参数和不同铣削轨迹重叠率的条件下进行加工实验，分析二者对电解电火花铣削
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2013年5期
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