【摘 要】
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本文所描述的测试系统基于激光全息分光技术和激光干涉测长技术，同时测定目标物体六个自由度的偏差。采用激光漂移补偿技术建立了稳定的激光束基准，采用磁光调制技术减小光强不
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
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本文所描述的测试系统基于激光全息分光技术和激光干涉测长技术，同时测定目标物体六个自由度的偏差。采用激光漂移补偿技术建立了稳定的激光束基准，采用磁光调制技术减小光强不稳定等因素对滚转角测量精度的影响，实现了多自由度较高精度的准直。实验表明，在激光光源距靶标１ｍ时，该系统σ重复性误差：线位移小于４μｍ，角位移小于４″，整个系统结构简单，测量效率高。
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