纳米SiO2掺杂的In2O3厚膜气敏传感器稳定性研究

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采用丝网印刷技术,制备了纳米SiO2掺杂的In2O3厚膜气敏传感器,并通过加速寿命试验对乙醇气氛下传感器的稳定性进行探究.通过长期测试发现纳米SiO2的掺入明显地提高了In2O3气敏传感器的稳定性.此外,当SiO2的掺杂浓度控制在5wt%左右时,In2O3气敏传感器的气敏性能也有了很大的提高.结合实验数据,对SiO2提高In2O3气敏传感器稳定性与敏感性的微观机理做了深入分析.
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