【摘 要】
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光刻胶是为适应集成电路的需要而发展起来的一种胶种,有正性和负性二种类型。迄今为止,光学分划元件大部分仍沿用负性胶。最近我们在制作的光学零件分划图形中,用近期
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光刻胶是为适应集成电路的需要而发展起来的一种胶种,有正性和负性二种类型。迄今为止,光学分划元件大部分仍沿用负性胶。最近我们在制作的光学零件分划图形中,用近期
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