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在工业生产中工控机、PLC和触摸屏的应用越来越广泛，其中三者同时应用在同一个项目中也趋于普遍，尤其是在芯片生产厂家。芯片生产的每一个工艺过程的电气自动控制基本上都是由三者来实现的。本文以中芯国际集成电路制造有限公司的氢氟酸（HF）生产工艺为例，结合工控机、PLC和触摸屏的应用介绍一下氢氟酸（HF）稀释的自动控制。