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在分析芯片几何特征检测的基础上,根据Radon变换的基本思想,提出一种用于芯片几何特征检测的改进Radon变换算法,对该算法在矩形芯片边界直线的检测过程中确定边界直线、剔除干扰和加快速度的具体应用进行了研究。试验结果表明,与传统算法相比,该算法可以有效提高识别效率30%,同时具有鲁棒性好及检测结果准确等特点。