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采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)技术以不同气源在优化的工艺条件下制备不同类型的金刚石薄膜作为强流脉冲电子发射阴极材料,用SEM、AFM、FTIR和Raman光谱分析不同金刚石薄膜的组成结构,用2MeV直线感应型强流电子注入器平台检测强流脉冲发射特性。结果表明,不同类型的金刚石薄膜均具有较强的脉冲电子发射能力,发射电流密度均可达70A/cm^2以上;各膜材的发射电流密度和稳定性相差很大,相对而言,以如+CO2+CH4+B2H6制备的掺B微米金刚石薄膜能获得的初始电流最大,达到115A/cm^2,