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主要描述在ｎ型和ｐ型ＧａＮ上制备欧姆接触的方法，分析了欧姆接触的特性及其形成机理，并讨论了该领域未来的研究趋势。
GaN上的欧姆接触
【摘 要】
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主要描述在ｎ型和ｐ型ＧａＮ上制备欧姆接触的方法，分析了欧姆接触的特性及其形成机理，并讨论了该领域未来的研究趋势。
【机 构】
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中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年5期
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