【摘 要】
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大尺寸、电子级直拉硅单晶生长过程中物理变化复杂、多场多相耦合、模型不确定且存在大滞后和非线性等特性,因此如何实现硅单晶直径控制是一个具有理论意义和实际价值的问题.
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心,陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目(61533014)资助
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大尺寸、电子级直拉硅单晶生长过程中物理变化复杂、多场多相耦合、模型不确定且存在大滞后和非线性等特性,因此如何实现硅单晶直径控制是一个具有理论意义和实际价值的问题.本文结合工程实际提出一种基于混合集成建模的晶体直径自适应非线性预测控制方法.首先,为了准确辨识晶体直径模型,提出基于互相关函数的时滞优化估计方法和基于Lipschitz商准则与模型拟合优度的模型阶次辨识方法;其次,基于"分而治之"原理构建晶体直径混合集成模型.其中,采用小波包分解(Wavelet packet decompos
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