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对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法.
ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正
【摘 要】
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对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法.
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系(合肥)
【出 处】
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中国真空学会薄膜技术学术交流会
【发表日期】
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2001年10期
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