【摘 要】
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采用超声波一脉冲直流电沉积的方法在钼基底上制备了两种不同叠层结构的Cu／In预制膜：Cu／In多层膜和Cu／In双层膜，经过随后的热处理得到了Cu／In合金膜。通过XRD、SEM等对比研究了这两
【机 构】
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湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭大学材料与光电物理学院
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采用超声波一脉冲直流电沉积的方法在钼基底上制备了两种不同叠层结构的Cu／In预制膜：Cu／In多层膜和Cu／In双层膜，经过随后的热处理得到了Cu／In合金膜。通过XRD、SEM等对比研究了这两种Cu／In预制膜热处理前后的表面形貌、成分和相结构特征。结果表明：采用Cu／In多层膜制备的Cu／In合金膜表面更致密、平滑，成分分布更均匀，所用的热处理时间短且显著减少了In元素的挥发损失，更利于薄膜原子比的精确控制。
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