【摘 要】
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采用脉冲激光沉积方法,在（001）LaAlO3上沉积CaBaCo2O5＋δ多晶薄膜,用X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）对基体和薄膜的微观结构进行观察,并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院,德克萨斯大学物理系,国防科学技术大学理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51301064,51371081）
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采用脉冲激光沉积方法,在（001）LaAlO3上沉积CaBaCo2O5＋δ多晶薄膜,用X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）对基体和薄膜的微观结构进行观察,并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量的可能工艺。结果表明,（1）LaAlO3基体中存在位错、孪晶等缺陷,且孪晶类型以（100）楔形孪晶为主;（2）CaBaCo2O5＋δ薄膜为多晶薄膜,薄膜底部保留了薄膜生长过程中的初始晶粒结构,晶粒大小约5-8 nm,厚度约为5-7 nm。薄膜顶层的晶粒较大,约为11-16 nm。
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