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介绍一种高分辨力、无接触式测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算测量技术。实现该技术的测量装置的角分辨力为0.1°。它可以测量导体或非导体表面纳米级精确度的粗糙度。
测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算研究
【摘 要】
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介绍一种高分辨力、无接触式测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算测量技术。实现该技术的测量装置的角分辨力为0.1°。它可以测量导体或非导体表面纳米级精确度的粗糙
【机 构】
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西北工业大学,西北工业大学教授710072,副教授
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1993年2期
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