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本文就溅射靶的分类、选用靶材的原则及常用几种靶的制备等问题进行了探讨。
溅射靶的开发与应用
【摘 要】
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本文就溅射靶的分类、选用靶材的原则及常用几种靶的制备等问题进行了探讨。
【机 构】
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【出 处】
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真空
【发表日期】
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2000年01期
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