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SURA 55场发射扫描电镜是由德国蔡司公司制造，它具有分辨率高、束流稳定和良好对称性等特点，能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像。目前，作为大型精密仪器SUPRA 55场发射扫描电镜，已经在许多大学、科研院所、企业得到广泛使用。从生物学、医学、冶金、材料，到纺织纤维、塑料制品、陶瓷产品的检验等均大量应用扫描电镜作为研究手段。本文介绍ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜使用技，亨，然后提出维护方法。除了严格按照ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程外，正确的日常维护是降低维修成本、