有机半导体薄膜三极管的研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bai7691722
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采用真空蒸镀法和有机半导体材料酞菁铜,制作Au/CuPc/Al/CuPc/Au三明治结构的肖特基型栅极有机静电感应三极管。该三极管导电沟道垂直于CuPc薄膜,与采用MOSFET结构的有机薄膜三极管相比导电沟道大幅缩短,有利于克服有机半导体电学性能的缺点。实验结果表明,该三极管驱动电压低,呈不饱和电流-电压特性。其工作特性依赖于栅极电压和梳状铝电极的结构。通过合理设计、制作梳状铝电极,获得了良好的三极管静态、动态特性。
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