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一种溅射装置包括基座以及多个靶器件。基板紧固地固定在基座上。靶器件是可旋转的并且设置为与基板的中心区域和基板中与中心区域相邻的外围区域相对。因为靶器件的数目少，可以减少溅射装置的相应的成本和尺寸。此外，因为靶器件旋转，可以形成更均匀的层并因而可以提高可靠性。
溅射装置及其驱动方法以及使用该装置制造基板的方法
【摘 要】
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一种溅射装置包括基座以及多个靶器件。基板紧固地固定在基座上。靶器件是可旋转的并且设置为与基板的中心区域和基板中与中心区域相邻的外围区域相对。因为靶器件的数目少，可
【机 构】
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韩国LG．菲利浦LCD株式会社,AVACO株式会社,LG电子株式会社
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2009年1期
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