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在多晶硅／二氧化硅栅被使用了40多年之后。产业界面临着转向高k／金属栅堆叠的挑战。我们正在目睹一个时代的结束。
硅化物支持先进的栅叠层结构
【摘 要】
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在多晶硅／二氧化硅栅被使用了40多年之后。产业界面临着转向高k／金属栅堆叠的挑战。我们正在目睹一个时代的结束。
【机 构】
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SemiconductorIntemational特约编辑
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年7期
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