NEPTUNE 10 MeV电子直线加速器钛溅射离子...

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【摘要】

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<正> 一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵

【作者】

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伍锦泉

【机构】

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中山医科大学肿瘤医院

【出处】

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医疗装备

【发表日期】

：

1993年1期

【关键词】

：

电子加速器钛溅射离子泵维修

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<正> 一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵(型号 PIP1146)提供的,它是电子直线加速器重要部件之一。它的结构是由一个圆柱形阳极,一对钛阴极板(在阳极的两侧各一个),

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