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利用激光干涉纳米光刻技术,在钴—铬—钼合金表面制备周期性的凹坑结构。研究了激光干涉纳米光刻过程中,影响材料表面结构的工艺参数,实验验证了三光束激光干涉光刻的曝光时间和光强能量密度对钴—铬—钼合金钢表面微纳米结构凹坑形状、直径及结构面积的影响。
激光干涉改性钴铬钼合金表面研究
【摘 要】
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利用激光干涉纳米光刻技术,在钴—铬—钼合金表面制备周期性的凹坑结构。研究了激光干涉纳米光刻过程中,影响材料表面结构的工艺参数,实验验证了三光束激光干涉光刻的曝光时
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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黑龙江科学
【发表日期】
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2017年20期
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