【摘 要】
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研究了三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器的设计、制作并分析了其纵模和横模特性．通过建立波导结构模型，利用有限元方法模拟激光器波导结构内的三维模场分布，通过本征模的损耗分
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院大学
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研究了三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器的设计、制作并分析了其纵模和横模特性．通过建立波导结构模型，利用有限元方法模拟激光器波导结构内的三维模场分布，通过本征模的损耗分析器件的纵模模式选择机理．同时，由本征模的近场通过近一远场傅里叶变换求得激光器的远场分布．采用半导体工艺制作了4．3THz双面金属波导三阶分布反馈量子级联激光器，测量了不同器件的发射谱和远场光束质量，远场发散角为12°×13°，实验结果和理论模拟符合．
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