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期刊论文
LED行业用废氨气处理技术
LED行业用废氨气处理技术
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianzhu119
【摘 要】
:
MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点。从回收利用和节能
【作 者】
:
孙猛
李荷庆
金向华
【机 构】
:
苏州金宏气体股份有限公司
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
2016年01期
【关键词】
:
氨气
金属有机物化学气相沉积法
尾气处理
LED
环境污染
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MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点。从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低对大气的污染。
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