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期刊论文
单电子晶体管研究进展
单电子晶体管研究进展
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shion31208
【摘 要】
:
文章介绍了单电子晶体管的产生背景、工作原理、最新的制备工艺、计算机数值模拟和存在的问题,并对其应用前景进行了展望.
【作 者】
:
曾令刚
王庆康
张欣
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
单电子晶体管
库仑阻塞
单电荷隧穿
数值模拟
Single electron transistor
Coulomb blockade
Single electr
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文章介绍了单电子晶体管的产生背景、工作原理、最新的制备工艺、计算机数值模拟和存在的问题,并对其应用前景进行了展望.
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