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根据生瓷带打孔机对运动平台的特殊要求,设计了高速精密运动平台方案,分别从高刚度机械结构、直线电机及同步控制、运动误差补偿等三个方面详细阐述了具体的实施方案及解决措施,并采用三种方法对平台的性能进行了验证。通过验证证明,平台达到很高的加速度和定位精度,达到了平台设计的预期目标。
高速精密运动平台研制
【摘 要】
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根据生瓷带打孔机对运动平台的特殊要求,设计了高速精密运动平台方案,分别从高刚度机械结构、直线电机及同步控制、运动误差补偿等三个方面详细阐述了具体的实施方案及解决措
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
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2011年3期
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