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测量了掺锗ＣＺＳｉ中锗的纵向分布形式，发现硅中锗的分布是头部低尾部高，其有效分凝系数Ｋｅ≈０．６６±０．０１。
掺锗直拉硅单晶中锗杂质的纵向分布
【摘 要】
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测量了掺锗ＣＺＳｉ中锗的纵向分布形式，发现硅中锗的分布是头部低尾部高，其有效分凝系数Ｋｅ≈０．６６±０．０１。
【机 构】
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河北工业大学材料研究中心
【出 处】
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河北工业大学学报
【发表日期】
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1996年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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