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利用高分辨电子显微镜对 ０.００４９ Ｎ和 ０.０４９ Ｎ载荷 Ｖｉｃｋｅｒｓ压痕诱发砷化镓单晶的相转变进行了观察和研究，结果表明．在大小压痕作用下分别发生了单晶向非晶和微晶的转变， 微晶的结构由小于 １０ｎｍ、取向各异的纳米晶和非晶组成， 在完全非晶化的结构中存在少量由几个原子组成的原子簇：在非晶与晶体的交界区能观察到许多晶体缺陷以及沿这些缺陷产生的晶格扭曲和非晶相岛， 对这种非晶化现象提出了两种可能的诱发机制：高压力诱导非晶化和剪切诱导非晶化。