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综述了铁电薄膜研究的新进展 ,分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器及热释电红外探测器方面的应用。指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要重点解决的一些问题
铁电薄膜的制备及其在器件中的应用
【摘 要】
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综述了铁电薄膜研究的新进展 ,分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器及热释电红外探测器方面的应用。指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要
【机 构】
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山东科技大学工程学院
【出 处】
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山东科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2002年02期
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