【摘 要】
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针对离子束刻蚀对石英晶体造成损伤的主因,采取合适的刻蚀工艺和减轻晶片损伤的措施,可使石英谐振器的性能获得显著改善。本文报道了使这类谐振器基频达456MHz的实验制作结果
【机 构】
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山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系 济南,济南,济南
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针对离子束刻蚀对石英晶体造成损伤的主因,采取合适的刻蚀工艺和减轻晶片损伤的措施,可使石英谐振器的性能获得显著改善。本文报道了使这类谐振器基频达456MHz的实验制作结果。
Aiming at the main reason of damage to quartz crystal by ion beam etching, the proper etching process and the measures to reduce the damage of the wafer can be used to improve the performance of quartz resonator. This article reports the experimental results of making such resonators base frequency up to 456MHz.
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