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随着微传感器的广泛应用,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中.从微机械加工技术的关键工艺入手,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍,并介绍了两种分别使用体微机械加工技术和表面微机械加工技术制造的微传感器.
微机械加工技术在微传感器中的应用
【摘 要】
：
随着微传感器的广泛应用,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中.从微机械加工技术的关键工艺入手,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍,并介
【机 构】
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天津大学
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2002年4期
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