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期刊论文
镀膜基板激光测温的自动化
镀膜基板激光测温的自动化
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhw0920
【摘 要】
:
描写了一种新型的CCD摄像头-计算机系统,它可以在镀膜基板激光测温的过程中跟踪光斑中心,从而测出移过光斑中心的干涉条纹数,达到镀膜基板激光测温自动化的目的。
【作 者】
:
马秀芳
费越
【机 构】
:
复旦大学
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
激光测温
真空镀膜
自动化
CCD器件
镀膜基板
Measuring tile Temperature by Laser
Vacuum Coating
Auto
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描写了一种新型的CCD摄像头-计算机系统,它可以在镀膜基板激光测温的过程中跟踪光斑中心,从而测出移过光斑中心的干涉条纹数,达到镀膜基板激光测温自动化的目的。
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