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概述了反映用于集成电路制造的硅材料技术发展水平的主要技术指标和工艺,简要阐述了世界硅材料的生产、市场现状。
国外硅材料技术发展水平及生产、市场现状
【摘 要】
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概述了反映用于集成电路制造的硅材料技术发展水平的主要技术指标和工艺,简要阐述了世界硅材料的生产、市场现状。
【机 构】
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重庆仪表材料研究所
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1992年4期
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