双孔载频剪切散斑干涉法测量表面动态形变

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wumou
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为了精确地测量物体表面的动态形变并得到形变高度和梯度信息,提出了一种基于双孔衍射结构的空间载频剪切散斑干涉法。该方法采用双孔产生固定的载频条纹,利用双旋转光楔实现剪切量的连续调节,采用正弦拟合算法进行相位计算。首先,分析了双孔调制的相位载频与双孔距和像距之间的关系,讨论了双旋转光楔得到线性剪切量调整的实验参数。然后,设计了测量光路参数;采用孔距为3.8mm的双孔径配合焦距为80mm的成像镜头在物距为300mm时得到了载频为π/2的散斑场。最后,对动态形变的薄金属板进行了测量。实验结果表明:配合实时图像处理
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