【摘 要】
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为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能.基于0.35 μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能.基于0.35 μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的光电传感器,并对关键参数进行了理论推导以及验证.实验结果表明,该光电传感器输出信号有效精度优于10 bit,输出阻抗低于5 Ω,各项性能指标均符合行业标准,并且能够稳定地运行.
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