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期刊论文
槽栅MOSFET’S的阈值电压解析模型
槽栅MOSFET’S的阈值电压解析模型
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimmyeccic
【摘 要】
:
给出了槽栅MOSFET的阈值电压解析模型,该模型反映了器件的阈值电压随不同结构和工艺参数变化的规律.分析和对比结果显示,该模型较好地表征了小尺寸槽栅器件的阈值电压特性,是一个
【作 者】
:
张晓菊
任红霞
冯倩
郝跃
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
槽栅
MOSFET
阈值电压
解析模型
grooved-gate
MOSFET
threshold voltage
analytical model
【基金项目】
:
中国科学院科技创新基金 ( No.CXJJ-5 5 ),,信息产业部电子预研基金 ( No.5 7.7.6.9)资助项目~~
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给出了槽栅MOSFET的阈值电压解析模型,该模型反映了器件的阈值电压随不同结构和工艺参数变化的规律.分析和对比结果显示,该模型较好地表征了小尺寸槽栅器件的阈值电压特性,是一个较为理想的解析模型。
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