槽栅MOSFET’S的阈值电压解析模型

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimmyeccic
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给出了槽栅MOSFET的阈值电压解析模型,该模型反映了器件的阈值电压随不同结构和工艺参数变化的规律.分析和对比结果显示,该模型较好地表征了小尺寸槽栅器件的阈值电压特性,是一个较为理想的解析模型。
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