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外延层电阻率是外延片的重要特征参数之一,如何准确地测量外延层的电阻率,以满足半导体器件研制的要求,是检验人员关注的一项重要的课题。对目前N型测试片大都是用电容电压法来测试,但实践中经常出现曲线斜的问题,通过做了大量的实验,得出了一种较好的预处理N型外延片的方法,达到了对电阻率的有效监控。
对N型外延预处理方法的研究
【摘 要】
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外延层电阻率是外延片的重要特征参数之一,如何准确地测量外延层的电阻率,以满足半导体器件研制的要求,是检验人员关注的一项重要的课题。对目前N型测试片大都是用电容电压法
【机 构】
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河北普兴电子科技股份有限公司
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2012年25期
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