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采用电化学沉积方法在Si（111）衬底上制备出了Mn掺杂的ZnO柱,长度约为500600 nm,直径为200300 nm。通过XRD和XPS的表征可以判断出：Mn2＋离子代替部分Zn2＋离子进入了ZnO晶格,Mn离子的掺杂量为2%。样品的共振拉曼谱表明：由于Mn2＋离子进入了晶格,导致ZnO的1LO和2LO光学纵向声子向高频移动。在He-Cd激光器325 nm激发下,可以观测到光谱中存在两个发光谱带,分别位于可见区和紫外区。