The property of Si／SiGe／Si heterostructure during thermal budget characterized by HRXRD

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mj3140

【摘要】

：

Si/SiGe/Si heterostructures grown by ultra-high-vacuum chemical vapor deposition (UHVCVD) werecharacterized by Rutherford backscattering/Channeling (RBS/C) toge

【作者】

：

CHENChang-Chun LIUZhi-Hong HUA

【机构】

：

InstituteofMicroelectronics,ShanghaiInstituteofAppliedPhysics

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

Si/SiGe/Si异质结构热平衡 HRXRD 超高真空化学气相沉积 UHVCVD X射线衍射 Strain Si/SiGe heterostructure

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

Si/SiGe/Si heterostructures grown by ultra-high-vacuum chemical vapor deposition (UHVCVD) werecharacterized by Rutherford backscattering/Channeling (RBS/C) together with high resolution X ray diffraction(HRXRD). High quality SiGe base layer was obtained.

其他文献

机械通气状态下经纤维支气管镜灌洗治疗COPD并呼吸衰竭30例临床观察与护理

目的使COPD呼吸衰竭患者缩短PIC窗。方法在机械通气状态下行经纤维支气管镜灌洗治疗。结果30例COPD呼吸衰竭患者经呼吸机机械通气状态下行纤维支气管镜吸痰及0．2％甲硝唑纤维支

期刊

纤维支气管镜灌洗治疗呼吸衰竭患者COPD通气状态临床观察机械纤维支气管镜吸痰护理

Turn-by-turn system and its primary experiment at HLS

During the Phase Ⅱ project of NSRL, a turn by turn BPM (Beam Position Monitor) system is proposedfor storage ring diagnostics which engages log-ratio electroni

期刊

电子束位置监测器BPM储存环故障诊断对数放大器Turn-by-turn BPM Phase-space measurement

数字化信息资源的内涵及建设原则

数字化信息资源是数字图书馆一切工作的基础,只有建设好信息资源并加以开发利用,才能实现网络的最终价值.文章就数字化信息资源的定义、建设的关键环节、建设原则及存在问题

期刊

数字图书馆数字信息资源内涵建设原则资源库

Effect of hydrogen on SiC-C films with AES and XPS analyses

SiC-C films with different content of SiC were deposited with r. f. magnetron sputtering followed by argon ion bombardment. These films were then permeated by h

期刊

碳化硅-碳薄膜AESXPS氢气化学键X射线光电子能谱SiC-C films Hydrogen permeation XPS AES

Intermediate mass dilepton production in a chemically equilibrating quark-gluon matter

We find that in a chemically equilibrating baryon-rich quark-gluon matter, due to the slow cooling rate, high initial temperature, large gluon density as well a

期刊

高能重离子碰撞RHZC放射性原子核化学平衡QGMLHCTESRelativistic unclear collisions Chemical n

A VMEbus interface for multi—detector trigger and control system

MUSE (MUltiplicity SElector) is the trigger and control system of CHIMERA, a 4π charged particles detector. Initialization of MUSE can be performed via VMEbus.

期刊

探测器触发器控制VME (Versa Module Europa) Bus Interface Trigger

医院图书馆服务的新领域——“信息疗法”

信息疗法,即通过给人们提供有关治疗的信息以改善人们的身心健康,在欧美、日本等发达国家已逐渐普及,我国也有许多有志之士呼吁医院图书馆面向患者服务.本文从可行性、意义和

期刊

医院图书馆读者服务信息疗法病人图书馆心理治疗

结核性脑膜炎侧脑室引流引起医院感染的原因及护理对策

目的探讨结核性脑膜炎侧脑室引流引起医院感染的原因及其护理对策。方法结合文献及临床护理经验分析医院感染的原因。结果总结可以降低结核性脑膜炎侧脑室引流引起医院感染的

期刊

结核性脑膜炎侧脑室引流医院感染护理对策护理经验护理操作护理常规

紫杉醇联合卡铂治疗老年和中青年晚期非小细胞肺癌的研究

目的研究紫杉醇联合卡铂治疗老年和中青年晚期非小细胞肺癌患者的疗效、预后和毒副反应。方法对2002年1月~2005年12月我院收治的50例≥70岁的肺癌患者（老年组）和同一时间随机选

期刊

非小细胞肺癌老年人化疗紫杉醇卡铂non-small cell lung cancerelderly patientschemotherapypa

《四库全书》缘何不收万历《大明会典》

<大明会典>是明代官修行政法典,其刊本有两种,一为一百八十卷本正德<会典>,一为二百二十八卷本万历<会典>.然<四库全书>收录了正德<会典>,却未收内容更为详尽的定本万历<会典

期刊

《四库全书》《大明会典》明代官修行政法典《四库全书总目》万历《会典》正德《会典》

The property of Si／SiGe／Si heterostructure during thermal budget characterized by HRXRD

与本文相关的学术论文